性能优势

1）排气路径短，减少反应物沉积

独有的螺旋方式将多级转子直接串联，取消了中间隔板结构，无中间级吸排气过程，工作过程简单连续，效率高，泵运行稳定性高。干式螺杆真空泵相较于其他形式的真空泵，因气体于泵内的传输路径最短，最不易产生反应物沉积的现象。

2）线形密封性佳，接触磨损小

泵腔内各零部件采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，寿命长；对少量小颗粒粉尘不敏感，且泵腔直通，粉尘不易在泵腔内沉积。采用防爆装置可用于抽除易燃易爆的气体。

3）工作腔洁净无油，无污染

工作腔内无油气污染被抽气体，工艺气体回收利用率高，尾气处理方便；同时也避免了油气和油烟等排放，环境污染小。避免了因润滑油乳化，变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗。

4）抽除可凝性气体，真空度高

泵壳单独使用，或者与罗茨泵，分子泵等组合成无油真空机组，作为机组前级泵使用。单泵进气压力在1pa至大气压力均能正常工作，抽气效率高。泵腔内工作温度达100℃以上，使可凝气不易冷凝，泵腔直通，排气口在泵腔底部，杂物容易排出，因此适宜抽取可凝性气体。

5）适用范围广

    泵工作腔以及螺杆转子表面有防腐涂层（包含镀镍、哈氏合金、特氟龙等），可适应各种恶劣工况。

螺杆真空泵特点：

1、对被抽系统无污染，可获得洁净真空。

2、泵腔内无油，非常容易实现对溶剂的回收或者排入焚烧炉内焚烧。

3、结构紧凑，占地面积小。

4、单泵即可达到40Pa~5Pa的极限压力，工作范围较宽。

5、因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染。

6、对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小。

7、根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，可大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。

8、螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，在抽除9、可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便。

10、螺杆真空泵可抽取易燃、易爆、有毒等可疑性气体。