主动隔振台：大型精密光学仪器设备主动减震系统

大型显微镜主动隔振台，大型SEM/TEM​主动防震台，半导体设备主动减震台，激光干涉仪主动减震系统，光学轮廓仪主动防震系统。

K&S先进减震系统

ARIS MD系列

描述：

紧凑型模块式主动隔振系统抵消了影响高精度设备和工具的振动。驻扎在多个独立的隔离器上，Arismd有能力支持400万公斤的大型机器的负载。低剖面隔离器提供简单的安装，不需要显微镜提升和重新校准。

产品规格：

1、        专利性结构

2、        6维主动隔振

3、        主动隔振频率范围：0.5～1000Hz

4、        高阻尼阶跃响应

5、        能够承载巨重的设备、工具、系统

6、        客制化定制，满足您的设备隔振需求

7、        电源通信箱集中控制

产业领域及应用：

振动水平应满足敏感工具和仪器的规格。大多数工厂，实验室和洁净室地板往往不能满足目标设备规格。

使用K＆S设备为新的工厂、实验室和洁净室的灵敏设备及仪器提供适应的震动隔离，降低整体成本，满足规格。

可随环境条件的变化而调整

1、大型重量级显微镜—SEM、TEM

2、半导体设备

3、X-Ray, CT, MRI 

性能曲线图：