品牌:红璨型号:ET-PC学科类别:近代物理学设备类别:仪器材质:金属适用范围:等立体诊断产地:上海加工定制:加工定制等离子体密度:106-1012偏置电压:-90V—+90V测量时间分辨率:12.5ns
MMLAB-prb系列朗缪尔探针系统
等离子体诊断:MMLAB-prb系列朗缪尔探针系统
MMLAB-prb系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计,简化了硬件结构,抗干扰性强,工作可靠,能够用于各种放电形式的等离子体诊断。其中MMLAB-prb1型为通用型;MMLAB-prb1a型为功能扩展型,可用于诊断射频等离子体;MMLAB-prb2型是双探针型,可适用于无极放电等离子体,对等离子体扰动小;MMLAB-prb3型是三探针型,可用于等离子体快速诊断(可达亚微秒级)及等离子体参数实时监控; MMLAB-prb-hmc型是谐波探针型,可用于绝缘薄膜沉积环境的等离子体诊断和等离子体参数实时监控; MMLAB-prb-ems型是发射探针型,用于准确测量等离子体及鞘层内的空间电势。
基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法已申报国家发明专利。仪器已在国内外多家实验室和企业的等离子体设备上获得了应用。
高阳:13941137962