德国Diener等离子设备，可做 材料表面活化，表面清洗，表面蚀刻，表面涂层。​

等离子清洗机ZEPTO  2.6L

等离子可以应用于材料接合或精确改变材料

表面属性。通过这项前瞻性技术可以改变几

乎所有的材料表面。

l  去除油脂、油、氧化物、纤维

l  去除硅氧树脂

l  绑定、焊接、粘结前的预处理

l  金属部件涂装前的预处理

l  键合

l  石墨烯、煤样灰化

配置可选：主要技术参数：

1.    手动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

3.    双路工作气体，浮球气体流量计

4.    反应舱为高硼硅玻璃，Ø105 mm*L300mm，容积为2.6L

5.    发生器频率40KHz,功率0~100W无级可调

6.    电极材质为铝/不锈钢

7.    运行模式为手动

8.    真空泵的排气能力为4m3/Hour，国产飞越真空泵，配有强制进气阀

9.    配有压力传感器，显示腔体内压力大小

10.   钠钙玻璃托盘：宽85mm，长260mm，厚5mm

11.   外尺寸：W425*D450*H185mm

12.   电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机ATTO   10.5L

等离子体技术可应用于不同材料，例如：玻璃、

金属、塑料制品、纺织品和陶瓷制品。

l  小批量生产

l  分析（REM,TEM）

l  医疗技术

l  灭菌

l  研究和开发部门

l  考古

l  纺织技术

l  塑料技术

配置可选：主要技术参数：

1.    手动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

3.    双路工作气体，气体流量通过针型阀流量控制

4.    反应舱为高硼硅玻璃，Φ 211 mm、长 300 mm，容积10.5L

5.    发生器频率13.56MHz,功率0~200W

6.    反射波自动调节，无须手工调节

7.    电极材质为铝/不锈钢

8.    运行模式为手动

9.    真空泵的排气能力为8.0m3/Hour，国产飞越真空泵

10.   *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

11.   外尺寸：宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm

12.   电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机FEMTO   2.2L

等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层

的功能。可以应用于多种领域。

l  硅蚀刻

l  PTFE蚀刻

l  去除光刻胶

l  提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性

l  疏水层的沉积

l  亲水层的沉积

l  保护或绝缘层的沉积

l  防扩散层

主要技术参数：

1.    全自动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数

3.    单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制

4.    反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L

5.    射频频率13.56MHz,功率0~100W

6.    电极材质为铝/不锈钢

7.    运行模式为手动

8.    真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀

9.    *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

10. 外尺寸：W310*D420*H330mm

11. 电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机PICO    5~8L

等离子工艺可应用于任何需要进行精确且高效修改

的材料表面。

l  去除部件封装（半导体）

l  支架（牙医）

l  心脏起搏器

l  传感器

l  精密驱动间

l  车大灯反射镜

l  摄像头

l  医疗器械

配置可选：主要技术参数：

1.半自动控制

2.根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

3.双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制

4.反应舱为高硼硅玻璃腔体，直径130mm, 长300 mm ，容积约为5L

5.发生器频率40KHz,功率0~200W

6.反射波自动调节

7.电极材质为铝

8.运行模式为手动

9.配套真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀，国产飞越真空泵

10*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm

12.电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机NANO   18~34L

小型生产型设备NANO可通过不同配置实现各种

等离子工艺，清洗、活化、蚀刻、涂层。高性价

比的设备可满足各种材料样品的中小型生产。

配置可选：主要技术参数：

12. 手动控制

13. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

14. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制

15. 反应舱为高硼硅玻璃材质，Φ 240mm、长 400 mm，容积18L

16. 发生器频率100KHz,功率0~500W

17. 运行模式为手动

18. 真空泵的排气能力为14 m3/Hour，原装进口干泵，Kashiyama

19. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

20. 外尺寸：宽 560 mm、高 600-860 mm、深 600 mm

21. 电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机TETRA 30  34L~150L

Tetra 30等离子系统能够以不同的形式进行整合，可以

满足生产企业需求，也能够按照客户要求进行定制。

主要技术参数：

1.    *便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数       

3.    双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制

4.    *反应舱为不锈钢，宽305mm ×深625 mm×高300 mm ，容积约为50L

5.    高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.    反射波自动调节，无须手工调节

7.    电极材质为铝/不锈钢

8.    运行模式为手动/自动

9.    *可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程

10. 真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀

11. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

12. 电源电压：400V /16A