德国Diener等离子设备，可做 材料表面活化，表面清洗，表面蚀刻，表面涂层。​

等离子清洗机TETRA 系列

Tetra 等离子系统能够以不同的形式进行整合，可以

满足生产企业需求，也能够按照客户要求进行定制。

主要技术参数：

1.    *便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数       

3.    双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制

4.    *反应舱为不锈钢，宽305mm ×深625 mm×高300 mm ，容积约为50L

5.    高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.    反射波自动调节，无须手工调节

7.    电极材质为铝/不锈钢

8.    运行模式为手动/自动

9.    *可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程

10. 真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀

11. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

12. 电源电压：400V /16A