一般的无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替, 干式无油、清洁环保的真空获得产品将加速替代水环泵、水喷射真空泵、往复泵、油封式机械泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵, 是20世纪90年代初期出现的一种理想的真空泵,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。

螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有摩擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性，它是往复泵、水环泵、水喷射真空泵、油封式滑阀真空泵、旋片式真空泵、及罗茨机组的更新换代产品。

螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。吸入的气体平稳的加压高于排出处的气体压力。这样的设计使得排出的气体中不会混有油性物质。电机的动力通过联结装置传输给主动轴，主转动轴再通过等比齿轮传输给从动轴。

①　电工：变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。

②　化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、浓缩、物料输送。

③　工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。

④　真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。

⑤　冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。

⑥　航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出舱、飞机升空等真空模似试验。

⑦　干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥等。

⑧　电子行业，半导体行业。

技术参数

LG等螺距螺杆真空泵系列技术规格表：

注意   (1)  润滑油采用100号真空泵油。设备出厂时配有泵油和润滑脂油。

        (2)  上述冷却水量是基于环境温度在20oC时候的用量，当环境温度不同时，使用循环用水量会有所变化。

        (3)  噪声值是在排气口敞开室内下测得,如接至室外噪声值比上表低5-10dB(A)左右。

                         注：此曲线是在出口为常压，入口在不同压力下测得的抽气速率曲线。