品牌：Diener型号：P6原理类型：真空化学气相沉积镀膜机应用领域：光学薄膜极限真空度：0.02Pa镀膜室尺寸：200*200mm工作真空度：1×10-3mbar Pa升压率：根据工艺而定Pa/h抽气时间：20min靶材利用率：90%基材尺寸：200*200可镀基材：200*200卷绕速度：可调m/min真空室材质：不锈钢真空获得系统：真空泵工件运动方式：真空系统控制：全自动控制最高加热温度：700℃热区加热均匀度：2±℃冷却方式：液氮/冷阱流量：可调L/min蒸发功率：5kW整机总功率：5kW适用领域：通用加工定制：非加工定制外观尺寸：W700*D500*H700mmmm重量：100kg腔体容积：6.28L涂层厚度：0.05～50μm冷却：液氮最低可达﹣100℃极限压力：1×10-3mbar涂层腔体尺寸：Ø200 m*L200mmm
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Parylene涂层设备 P6
聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。
聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据
分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、
D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象
沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。
Parylene涂层优势
l 可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用
l 所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性
l 室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材
l 润滑性能好
l 光透过性能好
主要技术参数：
1. 全自动控制
2. 涂层材料：聚对二甲苯，聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯
3. 涂层厚度：0.05～50μm
4. 热解：5KW ， 最高温度 700℃
5. 进气含均匀分散系统
6. 冷却：液氮最低可达﹣100℃
7. 极限压力：1×10-3mbar，配有两个皮拉尼传感器
8. 涂层腔体尺寸，Ø200 mm*L200mm，容积约6.28L
9. 旋转架尺寸：Ø170mm*L170mm
10. 真空泵系统：双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝D16B
11. 连接件：25mm真空管，泵与主机连接件，6 bars 干燥无油的空气
12. 外尺寸：W700*D500*H700mm
13. 电源电压：400V/16A/50-60Hz
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