等离子清洗机ZEPTO

等离子可以应用于材料接合或精确改变材料

表面属性。通过这项前瞻性技术可以改变几

乎所有的材料表面。

l  去除油脂、油、氧化物、纤维

l  去除硅氧树脂

l  绑定、焊接、粘结前的预处理

l  金属部件涂装前的预处理

l  键合

l  石墨烯、煤样灰化

配置可选：主要技术参数：

1.    手动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

3.    双路工作气体，浮球气体流量计

4.    反应舱为高硼硅玻璃，Ø105 mm*L300mm，容积为2.6L

5.    发生器频率40KHz,功率0~100W无级可调

6.    电极材质为铝/不锈钢

7.    运行模式为手动

8.    真空泵的排气能力为4m3/Hour，国产飞越真空泵，配有强制进气阀

9.    配有压力传感器，显示腔体内压力大小

10.  钠钙玻璃托盘：宽85mm，长260mm，厚5mm

11.  外尺寸：W425*D450*H185mm

12.  电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机ATTO

等离子体技术可应用于不同材料，例如：玻璃、

金属、塑料制品、纺织品和陶瓷制品。

l  小批量生产

l  分析（REM,TEM）

l  医疗技术

l  灭菌

l  研究和开发部门

l  考古

l  纺织技术

l  塑料技术

配置可选：主要技术参数：

1.    手动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

3.    双路工作气体，气体流量通过针型阀流量控制

4.    反应舱为高硼硅玻璃，Φ 211 mm、长 300 mm，容积10.5L

5.    发生器频率13.56MHz,功率0~200W

6.    反射波自动调节，无须手工调节

7.    电极材质为铝/不锈钢

8.    运行模式为手动

9.    真空泵的排气能力为8.0m3/Hour，国产飞越真空泵

10.  *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

11.  外尺寸：宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm

12.  电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机FEMTO

等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层

的功能。可以应用于多种领域。

l  硅蚀刻

l  PTFE蚀刻

l  去除光刻胶

l  提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性

l  疏水层的沉积

l  亲水层的沉积

l  保护或绝缘层的沉积

l  防扩散层

主要技术参数：

1.    全自动控制

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数

3.    单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制

4.    反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L

5.    射频频率13.56MHz,功率0~100W

6.    电极材质为铝/不锈钢

7.    运行模式为手动

8.    真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀

9.    *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

10. 外尺寸：W310*D420*H330mm

11. 电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机PICO

等离子工艺可应用于任何需要进行精确且高效修改

的材料表面。

l  去除部件封装（半导体）

l  支架（牙医）

l  心脏起搏器

l  传感器

l  精密驱动间

l  车大灯反射镜

l  摄像头

l  医疗器械

配置可选：主要技术参数：

1.半自动控制

2.根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

3.双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制

4.反应舱为高硼硅玻璃腔体，直径130mm, 长300 mm ，容积约为5L

5.发生器频率40KHz,功率0~200W

6.反射波自动调节

7.电极材质为铝

8.运行模式为手动

9.配套真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀，国产飞越真空泵

10*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm

12.电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机NANO

小型生产型设备NANO可通过不同配置实现各种

等离子工艺，清洗、活化、蚀刻、涂层。高性价

比的设备可满足各种材料样品的中小型生产。

配置可选：主要技术参数：

12. 手动控制

13. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数

14. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制

15. 反应舱为高硼硅玻璃材质，Φ 240mm、长400 mm，容积18L

16. 发生器频率100KHz,功率0~500W

17. 运行模式为手动

18. 真空泵的排气能力为14 m3/Hour，原装进口干泵，Kashiyama

19. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

20. 外尺寸：宽 560 mm、高600-860 mm、深600 mm

21. 电源电压：单相AC230V 16A

等离子清洗机TETRA 30

Tetra30等离子系统能够以不同的形式进行整合，可以

满足生产企业需求，也能够按照客户要求进行定制。

主要技术参数：

1.    *便捷的PC触摸屏控制，操作系统为WindowsCE5.0(ARM)

2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数

3.    双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制

4.    *反应舱为不锈钢，宽305mm×深625 mm×高300 mm ，容积约为50L

5.    高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.    反射波自动调节，无须手工调节

7.    电极材质为铝/不锈钢

8.    运行模式为手动/自动

9.    *可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程

10. 真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀

11. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

12. 电源电压：400V /16A

常压等离子清洗机Plasmabeam /Plasmabeam DUO

对于常压等离子技术，等离子的生成是由于气体

在大气压力下通过高电压而被激发。等离子由高

压气体驱动从喷嘴中一同喷出。其等离子效应可

以分为以下两种：

l  表面激活及精密清洗   

通过等离子束中所携带的反应粒子实现

l  此外，松散附着于材料表面的微尘将由高压

加速的激活气流带走

配置可选：

主要技术参数：

1.    手动控制

2.    等离子主机外形尺寸：W 562mm, H 211 mm, D 420 mm

3.    等离子喷头尺寸：Max. Ø 32 mm, L 270 mm

4.    可处理宽度：max.12mm

5.    射频发生器：20KHz/300w

6.    电源：230V/6A

7.    连接部分：冷却的处理气体（干燥无油的压缩空气）

8.    在主机背面，通过连接25针的SUB-D接口进行远程控制。

Parylene涂层设备 P6

聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。

聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据

分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、

D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象

沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。

Parylene涂层优势

l  可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用

l  所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性

l  室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材

l  润滑性能好

l  光透过性能好

主要技术参数：

1.   全自动控制

2.   涂层材料：聚对二甲苯，聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯

3.   涂层厚度：0.05～50μm

4.   热解：5KW ，最高温度 700℃

5.   进气含均匀分散系统

6.   冷却：液氮最低可达﹣100℃

7.   极限压力：1×10-3mbar ，配有两个皮拉尼传感器

8.   涂层腔体尺寸，Ø200 mm*L200mm，容积约6.28L

9.   旋转架尺寸：Ø170mm*L170mm

10. 真空泵系统：双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝D16B

11. 连接件：25mm真空管，泵与主机连接件，6 bars 干燥无油的空气

12. 外尺寸：W700*D500*H700mm

13. 电源电压：400V/16A/50-60Hz

Parylene涂层设备P300

主要技术参数：

parylene N, C, D,F-VT4

控制: Windows Full PC

涂层厚度: 0.05 ~100 um

外形尺寸：W2700*D2600*1600mm:         

裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850°C  

样品舱：Φ700mm*H720mm

样品台：Φ600mm*H660mm

耦合剂CVD一体化设计

冷却方式：液氮

真空泵系统：

Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa

外尺寸：L2200*W2700*H1600mm（不包含真空泵）

Parylene涂层设备P260

技术参数：

Parylene N, C, D,F-VT4,F-AF4

涂层厚度: 0.05 ~ 100 um       

裂解管功率及温度:  4 kW /max. 850 °C  

Gas injection:homogenous dispersal system

样品舱:Φ640*H800mm

样品台:Φ560*H650mm

耦合剂CVD一体化设计

冷却方式：液氮

等离子预处理模块：80kHz 0~5kW

真空泵系统：

Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa

控制: Windows Full PC

外形尺寸：W2600*D1000*2000mm