在导热油泵使用的过程中,由于真空泵油直接进入泵体内腔，在真空泵运行时，随着气体压强的逐渐降低，泵温的逐渐升高。油品中饱和蒸汽压高的分子组分就能蒸发到真空的空间，即影响真空泵极限压强的达到，又可向真空系统返流扩散，污染真空系统，并直接影响极限真空的获得。真空齿轮泵工作原理属于正位移泵，导热油泵工作时依靠主、从动齿轮的相互啮合造成工作容积变化来输送熔体。工作容积由泵体、齿轮的齿槽及具有侧板功能的轴承套构成。当齿轮旋转时，熔体即进入吸入腔两齿轮的齿槽中，随着转动，熔体从两侧被带入排出腔，齿轮再度啮合，使齿槽中的熔体被挤出排出腔，压送到出口管道。轴承不能使用通常的润滑油脂，以避免污染熔体，通常采用熔体自润滑。使导热油泵的工作室不断增大或缩小，当工作室的容积变得***小时，即与真空泵的入气管连通，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间；当工作室的容积扩大时，即与入气管分开，使容积阀就打开。泵腔内容积不断膨胀与压缩，完成吸气和排气过程，使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子导热油泵内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。因此，真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。