品牌：日本KASHIYAMA型号：SDE20M20工作原理：往复真空泵极限真空度类型：超高真空极限真空度：0.00000001Pa抽气速率：0.5L/s电机功率：5000kW工作压强范围：30Pa温升：50℃进气口径：25mm出口口径：60mm转速：80r/min用油量：1L供水量：7L/min材质：564噪音：78db(A)适用领域：43加工定制：否外观尺寸：78mm重量：20kgxr：59gh：61sy：6xg：14wt：63
area class="lazyLoad">日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20机械增压泵
KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20机械增压泵
最高抽速可达200,000 L / min级
适用于大型晶圆/ FPD基板
回应每个过程
SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20机械增压泵
仕様 / 型式 *1 | SDE1220 | SDE20M20 | SDE30M20 | SDE4060 | SDE4030M20 | SDE8060 | SDE804060 |
最大排気速度
[L/min] *2 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 60,000 | 80,000 | 120,000 | 190,000 |
到達圧力
[Pa] *2 | 0.5 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 0.5 |
電源電圧
(50/60Hz) | 3相 AC200～220V, 380～480V |
外観寸法 [mm]
W*H*L *3 | W:400
H:780
L:930 | W:450
H:950
L:1000 | W:450
H:950
L:1000 | W:750
H:1200
L:1600 | W:800
H:1580
L:1320 | W:850
H:1220
L:1600 | W:1000
H:1980
L:1850 |
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