Micro-Vu的高精度视觉量测系统具备强大的功能性，可被广泛的应用在各种量测的需求，先进的机构设计造就了高性能的速度与精度，前瞻性的机电整合技术，运用USB传输，简化了量仪与电脑的沟通InSpec for Windows几何量测软体提供简易且人性化的接口，让量测、资料转换及报表输出变得容易操作与上手，InSpe 提供免费升级含日文版本，先进的光源系统提升了寻边与自动对焦的辨识能力与功能。
技术参数
Excel 4220
测量范围

600×600×150mm (23.6"×23.6"×5.9")

仪器外观尺寸

L1675×W1200×H1600 (66"×47"×63")

净重

910kg(2000lb)

容量

100kg(220lb)

床台材料

花岗岩

途径

独特的X和Y单轨，单轨线性的z

电源要求

93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp max.

X,Y轴精确度

U=3.5+L/300µm

Z轴精确度

U=3.0+L/150µm

X,Y轴最大加速度

1000mm/s²(40"/s²)

Z轴最大加速度

500mm/s²(20"/s²)

X,Y 速度

150mm/s²(20"/s²)

光栅尺分辨率

0.5µm(0.000020")

轮廓光，同轴光，表面光

红光LED技术（黑白机种使用）

白光LED技术（彩色机种使用）

光学镜头/倍率范围

12:1 Programmable Zoom/～17x-400x