品牌：科探仪器设备型号：kt类型：仪器仪表材质：铝仪表壳体加工定制：是适用范围：此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。外形尺寸：400
x380x380mm重量：23kg
area class="lazyLoad"> 混合气体配比气体混配器流量流量配比 高精度气体控制配比柜
多通道质子混气供气系统（主要产品是1-4通道混气供气），可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。
产品型号 | KT-S3Z |
产品类型 | 高精度型,快响应型 |
流量量程 | 100sccm,200sccm,300sccm,500sccm （根据实验需求） |
产品精度 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5% F.S. |
响应时间 | ≤2sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | 常闭 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | (0.1～0.3) MPa,(0.1～0.5) MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
压力表量程 | -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
仪器尺寸 | 400x380x380 |
不锈钢截止阀 | 采用316不锈钢制作 |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 23kg |
电话：0371-60308298
联系人：李工
联系电话：15286826848
QQ:760625767
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