品牌：日本KASHIYAMA型号：SDL12E50工作原理：往复真空泵极限真空度类型：超高真空极限真空度：0.00000001Pa抽气速率：0.5L/s电机功率：5000kW工作压强范围：30Pa温升：50℃进气口径：25mm出口口径：60mm转速：80r/min用油量：1L供水量：7L/min材质：564噪音：78db(A)适用领域：43加工定制：否外观尺寸：78mm重量：20kgxr：59gh：61sy：6xg：14wt：63
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KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
SDL系列
支持放大晶圆和FPD
通过组合可以实现大排量。 我们将回应超过150,000升/分钟的要求。
更短的节拍时间
通过确保大气侧排气速度，高速抽空大型负载锁定室
SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201
仕様 / 型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
最大排気速度
[L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
到達圧力
[Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5.0 |
電源電圧
(50/60Hz) | 3相 AC200～220V, 380～480V | 3相 AC380～440V |
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