设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。    

主要技术指标：

★ 炉管数：1～4管

★ 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)  760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)    ±0.5℃/24h (800～1280℃)

★ 气源路数：    ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★ 气体控制：    浮子/质量流量计

★ 悬臂舟参数： 速度：    20～1000 mm/min    最大行程：2000 mm    定位精度：±1 mm    最大载荷：17 Kg

★ 超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）

噪音：    ≤62dB（A）

振动：    ≤3μm

晨立扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求.

晨立公司可根据客户要求，专业定制生产各种炉体，价格优越，质量更优，可替代进口

优势： 使用寿命长，可代替进口
青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉、太阳能电池片扩散炉