品牌：Fujikura日本藤仓型号：KFCS-63-78类型：其他安装形式：固定式安装方式：基本型润滑方式：无给油气缸加工定制：是缸径：100mm活塞杆外径：10mm活塞杆螺纹：螺纹连接最大耗气量qmax：1L/min平均耗气量q：1L/min汽缸数：1重量：5kg超精密减压阀RS系列 藤仓超精密减压阀RS系列,藤仓RS精密减压阀


超精密减压阀RS系列
无尘室对应
超精密减压阀RS系列
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超精密减压阀RS系列
特长规格型号表示方法特形外观尺寸图
特长
压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。
无尘规格
因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。
歧管安装对应
歧管连接配管可能。
排气口装备
因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。
高精度
可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。
本产品的用途范例 (点击下记连接的话，可以阅览用途例)
缓冲装置
平衡装置
推压控制(1)
推压控制(2)
接合装置
张力控制装置
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规格
RS-4RS-8
使用流体清洁压缩空气
压力设定范围 (MPa)0.014～0.420.014～0.84
进口压力设定范围 (MPa)1. Max.
排气的有无有
反复再现性 (％.F.S)±0.1以内
感度 (％.F.S)0.1以内
空气消费量 (Nl/min)3.7以内
使用温度范围 (℃)5～60
配管连接口径Rc 1/4、歧管型
压力表连接口径 (Rc(PT))1/4
支架标准配置(歧管型以外)
质量 (kg)0.41
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型号表示方法 
型号表示方法 
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特性
特性
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外观尺寸图 
外观尺寸图 超精密减压阀RS系列 藤仓超精密减压阀RS系列,藤仓RS精密减压阀